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電子工程學系 計畫名稱：晶片系統國家型科技計畫—計畫辦公室運作計畫

20阅读 84页please365上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 please365 分享于2010-12-29 10:34

在本計劃年度中，我們成功發展出的一種新穎低溫堆疊式閘極氧化層是由PECVD 二氧化矽/ 氮化矽/N2O電漿之氮氧化矽(PECVD oxide/nitride/N2O-plasma oxynitride)(ONO)此 ...
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计画 工程学系 系统 科技 电子 名称 计画名称 国家 运作 工程
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晶片 金氧半 氮化 mbe 磊晶 科技
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