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PECVD原理--等离子体增强化学气相沉积技术基础

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本文档由 平凡人 分享于2009-03-19 10:10

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
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行业资料  —  轻工业/手工业
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等离子体 辉光放电 基团 硅烷 pecvd 薄膜 原子 粒子 化学 温度 光伏技术
系统标签：
等离子体 化学气相沉积 pecvd 电离 粒子 技术基础 高等教育 理学
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