薄膜制备技术中溶胶_凝胶工艺研究
本文档由 机械设备 分享于2011-01-18 22:32
综述了溶胶_凝胶工艺在薄膜制备技术中的现状和技术动态,溶胶_凝胶工艺的成膜理论和成膜工艺对薄膜工艺发展的促进,简要叙述了溶胶_凝胶薄膜工艺影响薄膜厚度的因素和存在的主要技术问题
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