基于PLC的MOCVD控制系统的优化设计

本文是西安电子科技大学控制理论与控制工程专业2009级研究生斗李宁的硕士学位论文，指导老师过润秋教授。本文根据MOCVD系统工艺要求，进行了基于PLC的MOCVD控制系统的优化设计。