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第7章 金属化与平坦化

187阅读 14顶 4人收藏 63页mazhengnew上传 举报/认领 展开

本文档由 mazhengnew 分享于2011-02-14 17:06

ivt集成电路课件
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wafer CVD CMP 金属 TDMAT TDEAT
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金属化 接触层 金属层 介电层 层金属 导电层
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