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ta及ta-n薄膜的制备与电学性能研究

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本文档由 阿勒 分享于2015-10-23 00:51

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论文  —  大学论文
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ta及ta-n薄膜的制备与电学性能研究
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薄膜 电学 制备 性能 nfilms diffusionbarrier
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