光学镜面离子束修形理论与工艺研究
本文档由 1739294960 分享于2011-03-08 07:46
本论文介绍了光学镜面离子束修形理论与工艺研究,包括对去除函数进行了建模和分析,驻留时间求解问题是IBF工艺中的关键问题,对修形能力进行了理论研究和试验验证,对IBF工艺中的主要误差源进行了分析等
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