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光学镜面离子束修形理论与工艺研究

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本文档由 1739294960 分享于2011-03-08 07:46

本论文介绍了光学镜面离子束修形理论与工艺研究，包括对去除函数进行了建模和分析，驻留时间求解问题是IBF工艺中的关键问题，对修形能力进行了理论研究和试验验证，对IBF工艺中的主要误差源进行了分析等
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113页
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高等教育  —  研究生课件
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光学 离子束 镜面
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离子束 镜面 光学 工艺 ibf 去除 高等教育 研究生课件
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