叉指式微加速度计的静电—机械耦合场分析
本文档由 周纯家 分享于2011-03-15 10:01
为了对微加速度计进行静电 机械耦台场分析,利用ANSYS软件及它的编程语言,4a~DL宴现了有限元耦合场分析=作为实例,选择一种尺寸的叉指式微加速度计,分析了它的灵敏度,其结果同理论值基本一致。
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