基于单元材料属性更改的结构渐进拓扑优化方法

为了对微加速度计进行静电 机械耦台场分析，利用ANSYS软件及它的编程语言,4a~DL宴现了有限元耦合场分析=作为实例，选择一种尺寸的叉指式微加速度计，分析了它的灵敏度，其结果同理论值基本一致。