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超低介电常数材料纳米多孔SiO2和SiO2：F薄膜的制备及其物性研究

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本文档由 hifun 分享于2011-03-16 16:52

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介电常数 纳米 物性 多孔 薄膜 SEM TEOS XRD FTIR 制备
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薄膜 介电常数材料 超低 多孔 制备 物性
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