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集成电路制造工艺

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本文档由 阿林 分享于2008-10-07 22:49

集成电路制造工艺，集成电路原理基础，基本制造原理，常用方法，学习参考资料
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.pps
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9.45M
文档页数：
85页
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126
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研究生考试  —  辅导咨询
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考研 集成电路制造工艺 清华大学 CVD 集成电路 MOS 管源 多晶硅 芯片 淀积
系统标签：
集成电路制造 漏区 工艺 salicide 利用光刻 离子注入
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