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基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究

387阅读 11人收藏 164页houjueduo1.上传 举报/认领 展开

本文档由 houjueduo1992 分享于2016-04-28 03:46

基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究
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18.29M
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164页
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论文  —  毕业论文
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fbar aln 薄膜体声波谐振器 氮化铝 薄膜 mbvd
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