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薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法（2）

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高等教育  —  大学课件
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薄膜材料 薄膜技术 薄膜制备 物理制备 制备方法
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溅射 薄膜 靶材 正离子 放电 溅射镀膜 物理 中学教育 中考
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