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薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法-溅射

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本文档由 资料一箩筐 分享于2011-03-26 13:58

本课件讲解了薄膜制备的溅射、离子镀、离子束增强沉积等物理制备技术。
文档格式：
.ppt
文档大小：
10.37M
文档页数：
69页
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26
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1
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文档分类：
高等教育  —  大学课件
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文档标签：
薄膜材料 薄膜技术 薄膜制备 物理制备 溅射 离子镀 离子助 气相沉积 大学课件
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溅射 薄膜 制备 物理 靶材 轰击 高等教育 大学课件
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