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薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法-蒸发

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本文档由 资料一箩筐 分享于2011-03-26 14:14

本文介绍了薄膜的物理制备的真空蒸发方法，包括真空蒸发原理、蒸发源的蒸发特性及薄厚分布、蒸发源的类型、合金及化合物的蒸发、膜厚和淀积速率的测量与监控等内容。
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高等教育  —  大学课件
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薄膜材料 薄膜技术 薄膜制备 物理制备 制备方法 气相沉积 真空蒸发 蒸发源
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蒸发 薄膜 物理 制备 镀膜 沉积 高等教育 大学课件
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