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薄膜材料与薄膜技术 第一章 真空技术基础

455阅读 14人收藏 35页资料一箩筐上传 举报/认领 展开

本文档由 资料一箩筐 分享于2011-03-26 15:33

本文介绍了真空的概念，特诊等基本知识，以及真空的获得、真空的测量、真空系统等内容。
文档格式：
.ppt
文档大小：
4.36M
文档页数：
35页
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文档分类：
高等教育  —  大学课件
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文档标签：
薄膜材料 薄膜技术 真空技术 真空基础 真空系统 真空测量 真空获得 气体分子 真空度
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真空 薄膜 高真空 低真空 气体 分子
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