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超精密研磨抛光方法

1,111阅读 11顶 18人收藏 6页爱宝宝上传 举报/认领 展开

本文档由 爱宝宝 分享于2009-04-30 09:36

罐中进 行; (5)工件不会出现塌,翘边的边缘效应. 3 结束语 上述几种超精密研磨抛光方法与传统的研磨方法有本质的区别.其...
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工件 离子束 磨料 粗糙度 磨粒 原子 磁场 磁力 化学 超声
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超精密 研磨 抛光 磨料 工件 工件轴
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