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Effect of Showerhead Configuration on Coherent Raman Spectroscopically Monitored Pulsed Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited Silicon Nitride Thin Films

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Effect of Showerhead Configuration on Coherent Raman Spectroscopically Monitored Pulsed Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited Silicon Nitride Thin Films
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论文  —  自然科学论文
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Effect of Showerhead Configuration on Coherent Raman Spectroscopically Monitored Pulsed
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showerhead pulsed nitride plasma raman silicon
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