退火气氛对Al-F 共掺杂ZnO 透明导电薄膜性能的影响

通过溶胶-凝胶法，采用Al、F 共掺杂的方法在4 种不同的气氛下制备ZnO 薄膜，研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系。制备的Al∶F∶ZnO 薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜。4 种退火气氛相比，在空气气氛下退火时，平均晶粒尺寸最大，为43.4nm，导电性能最好，电阻率可低达6.5×10-2Ω•cm。4 种退火气氛下，薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75%以上，其中，空气气..