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formation of n p junctions using in-situ phosphorus doped selectivesi1-xgex alloys for cmos technology nodes beyond 50nm

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formation of n p junctions using in-situ phosphorus doped selectivesi1-xgex alloys for cmos technology nodes beyond 50nm
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.pdf
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114页
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研究报告  —  教育
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formation of n p junctions using in-situ phosphorus doped selectivesi1-xgex
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phosphorus doped junctions situ xgex alloys
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