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synthesis of boron nitride films using electron-cyclotron resonance microwave plasma and an h2-bf3-n2-ar-he gas system

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synthesis of boron nitride films using electron-cyclotron resonance microwave plasma and an h2-bf3-n2-ar-he gas system
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synthesis of boron nitride films using electron-cyclotron resonance microwave plasma
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films boron plasma nitride microwave synthesis
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