高介电常
本文档由 Elliot 分享于2009-05-17 13:07
实验步骤.17 3.1 HfO2闸极介电层制程步骤.17 3.2 SiO2闸极氧化层制程步骤.20 3.3 HfO2与SiO2电 对时间(I-t)之特性.23 3.4 HfO2 TBD韦伯分布图.26 第四章 结 ..27 4.1 SiO2闸极氧化层崩溃机制..........
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