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用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁

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本文档由 → Version 分享于2009-05-18 02:14

目前对自上而下方法制备的单晶硅结构在纳米尺度的力学性质的实验研究方法主要有两类: 一是利用原子力显微镜(AFM)的针尖对单晶硅纳米线,纳米梁进行的弯曲实验[1~4], 另一类是对硅纳米悬臂梁开展的谐振测试[7], 这些实验都是对力学特性的...
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纳米 单晶硅 TEM 芯片 MEMS 梳齿 nanoscale 原位 Phys 电子束
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单晶硅纳米 拉伸 原位 tem 纳米梁 实验
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