光学仪器在精密测量上的应用

本文档由 → Version 分享于2009-05-18 19:48

本文介绍了光学仪器在精密测量中的应用,包括投影仪的结构和原理,光学干涉仪的原理和应用,激光测量物体高度、平整度、平行度等的原理和应用。
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光学测量 激光测量 投影仪 高度 平整度 干涉
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metrology 精密测量 光学仪器 射干 precision 雷射
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