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新一代集成电路Cu互连用Ta基扩散阻挡层的制备及特性研究

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本文档由 拉拉 分享于2011-05-03 18:02

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集成电路 新一代 特性 制备 互连 研究
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扩散阻挡层 互连 特性 制备 集成电路 一代
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