CMOS-MEMS低电压静电驱动微振荡器-国家奈米元件实验室

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CMOS-MEMS低电压静电驱动微振荡器-国家奈米元件实验室
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幼儿/小学教育  —  教育管理
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mems 元件 cmos 静电驱动 低电压 振荡器
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