硅电容压力传感器及其产业化
本文档由 凝殇 分享于2009-05-24 09:56
电容压力传感器本身具有小功率,高阻抗,静电引力小,可动质量小,发热影响小的特 点.硅电容压力传感器综合性能指标如非线性,过载,静压,可靠性等性能优于硅压阻压力 传感器,陶瓷电容压力传感器,金属膜片电容压力传感器,与硅谐振压力传感器...
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