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硅微机械陀螺科氏效应的有限元法模拟

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硅微机械陀螺科氏效应的有限元法模拟 ...
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机械 陀螺 效应 有限元 模拟 CORIOLIS GYROSCOPE VIBRATORY rad FINITE
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陀螺 硅微机械 科氏 效应 模拟 角速度 论文 自然科学论文
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