酸性氯化铜蚀刻液

本文档由 争寒 分享于2009-05-27 06:48

微量的一价铜存在蚀刻液中,会显著的隆低蚀刻速率. 二价铜含量的影响,通常二价铜离子浓度低于2克离子时,蚀刻速率低,在2克离子时,蚀刻速率就高,当铜含量达到一定浓度时,蚀刻速率就会下降,要保持恒定的蚀刻速率就必须控制蚀刻液内的含...
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蚀刻 氯化 初生态 抗蚀剂 速率 再生
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