3D_IC_的TSV集成–现有工艺及未来展望

本文档由 huyangshu55 分享于2011-06-03 16:31

3d ic tsv pvd
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通信/电子  —  天线/微波/雷达
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TSV Bonding chip Logic Via memory low Wafer Process Level
系统标签:
tsv wafer bonding 半导体 展望 bump
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