色共焦厚高测量仪系统解决方案

色共焦厚高测量仪系统是利用白光干涉测量的原理，对样品进行高度及厚度测量及分析。用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率和随膜厚的不同而变化，色共焦厚高测量仪根据这一特性来进行曲线拟合从而求得样品的厚度与高度。