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浅谈12吋晶圆集成电路芯片制程后端工艺

686阅读 1人收藏 8页nam3002上传 举报/认领 展开

本文档由 nam3002 分享于2019-04-04 12:39

本文目的是科普集成电路芯片制造工艺（制程）知识
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通信/电子  —  电子设计
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晶圆 集成电路芯片 淀积 层布线 氮化钽 光刻
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