数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻

本文采用时域有限差分方法( FDTD) 对PSPRN进行了理论分析,通过分析探针针尖及记录层表面处的相对电场强度振幅分布,得出探针到记录层的距离以及探针针尖大小是影响光刻的两个重要因素. 理论分析表明,该纳米光刻方法具有较高的可行性,所得模拟结果对于今后的研究开发工作具有重要的指导意义.