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国立清华大学奈微与材料科技中心

103阅读 5页雨点点上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 雨点点 分享于2011-06-21 08:22

E-GUN操作手册与注意事项一,开机程序1.检查温度及湿度.2.检查CRYO...并填写记录簿,注明镀膜结束时间.7.等待30分钟后且CHAMBER内温度降至40℃,...
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CHAMBER 清华大学 START SHUTTER SOURCE LOADING MAIN POWER EMISSION PUMP
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chamber 晶片 插栓 国立 shutter 基座
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