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电子束曝光系统及其方法的技术专利参考

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本文档由 文档酷酷 分享于2011-06-23 10:23

包含散射区和限制孔阑,该孔阑用于限制通过掩膜的散射电子量,限制孔阑包含固定...该所述掩膜包含一个散射区和一个限制孔阑,该孔阑可控制通过掩膜的散射电子的...
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电子束 专利 曝光
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电子束 曝光 专利 开孔 电子量 散射
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