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热蒸发与溅射镀膜 北京大学微纳加工实验室

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汽车/机械/制造  —  工业自动化
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溅射 北京大学 实验室 AFM Torr Growth Plume cos 镀膜 加工
系统标签：
蒸发 溅射镀膜 岳双林 衬底 许胜勇 加热丝
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