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Optimization of energy and fluence of N2 ions in the conversion of Al2O3 surface into AlN at room temperature

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Optimization of energy and fluence of N2 ions in the conversion of Al2O3 surface into AlN at room temperature
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幼儿/小学教育  —  教育管理
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Optimization of energy and fluence N2 ions in the conversion
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aln ions surface energy fluence room
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