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double_pattern_design_wp

557阅读 4人收藏 15页hmily1979上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 hmily1979 分享于2011-08-28 19:23

Double Patterning Design Split Implementation and Validation for the 32nm Node
文档格式：
.pdf
文档大小：
505.68K
文档页数：
15页
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4
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行业资料  —  系统集成
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系统标签：
double pattern design patterning pitch lithography
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