高频光电导衰减法少子寿命测试仪设计

随着微电子工业的发展,对于材料和器件的质量有了更高的要求,对少子寿命的测量也更加重视起来。少子寿命是半导体材料和器件的一个重要参数,对半导体器件的正向压降、开关速度以及发光二极管的发光效率都有影响。因此,准确地测得这个参数,对于半导体器件制造等行业具有重要意义。 少子寿命的测试方法有很多种,包括直流光电导衰减法、准稳态光电导衰减法、高频光电导衰减法和微波反射光电导衰减法等,文章通过对几种具有代表性的测量..