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蚀刻INTRODUCTION

220阅读 2人收藏 10页泰戈尔上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 泰戈尔 分享于2011-10-25 12:16

这是国内某先进半导体生产线关于刻蚀的原理的介绍的课件！
文档格式：
.doc
文档大小：
5.98M
文档页数：
10页
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2
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文档分类：
通信/电子  —  无线电电子学/电信技术
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文档标签：
刻蚀
系统标签：
etching 蚀刻 刻法 bonbardment 光阻 etch
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