薄膜太阳能电池全自动激光刻蚀
本文档由 若莲 分享于2011-10-27 09:00
应用薄膜太阳能电池全自动激光刻蚀系统,是迄今为止国内唯一投入生产的全自动高速非晶硅太阳能电池板激光刻膜机,是非晶硅太阳能电池生产线中重要的组成设备,采用美国生产的复合型高质量激光器与极高精度的传送 定位模组,能实现超过4000mm s的超高加工速度。该系统包含了四台独立的激光刻蚀设备:透明导电膜 TCO P1 的刻膜设备,等离子气相沉积PECVD制造的SI膜 P2 的刻膜设备,背电极AL膜 P3 的刻膜设备,以及电池的边..
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