【精品资料】气体微流量测量及标准装置概论1

气体微流量测量及标准装置概论(1)时间:2010-03-10 来源:兰州物理研究所 编辑:李旺奎 本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。 一、引言 真空物理和技术中最基本的三个物理量是真空度(P)、微流量(Q)、和抽速(S)。..