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MOCVD 反應器之氮化鎵薄膜成長參數探討

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本文档由 fireworks911 分享于2009-08-19 21:59

國立中山大學機械與機電工程研究所
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生活休闲  —  科普知识
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mocvd 氮化 薄膜 磊晶 softeare 仁智
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