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非平衡磁控溅射制备氮化铬膜及其摩擦学性能研究

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本文档由 atytj7baf4 分享于2011-12-27 13:08

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氮化铬膜 非平衡 磁控溅射 氮化铬 性能研究
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非平衡 磁控溅射 氮化 摩擦 制备 性能
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