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4.微电子概论—集成电路制造基础

152阅读 1顶 4人收藏 55页lianyi8969.上传 举报/认领 展开

本文档由 lianyi8969026 分享于2012-01-06 16:42

制备薄膜，转移图形，掺入杂志，归纳总结，工艺实例，工艺流程
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.ppt
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5.41M
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55页
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文档分类：
通信/电子  —  电子设计
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文档标签：
微电子 集成电路 制造 概论 掺杂 工艺
系统标签：
微电子 集成电路制造 杂质 淀积 导论 薄膜
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