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磁控溅射镀膜技术1

3,501阅读 20顶 97人收藏 87页grant_wu上传 举报/认领 展开

本文档由 grant_wu 分享于2009-11-23 16:33

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高等教育  —  工学
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镀膜技术 磁控溅射 光电技术
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磁控溅射 镀膜 溅射 阴极 非平衡 正离子
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