PVD磁控溅射镀膜工艺理论及实践培训教程大全（内部资料）

本教程的目的是是学者对镀膜产品、溅射镀膜工艺、产生一个总的概念，并对设备的要求形成一个全面的理解，主要内容有：溅射、光线与薄膜、设备与操作、产品、质量控制、生产控制与维护；了解磁控溅射的主要理论知识，了解每个膜系中的特殊膜层，了解镀膜生产线的基本组成，真空系统的块系以及真空控制阀门等，了解真空计、流量计和功率计的功能等