薄膜生产技术课件——真空技术

本课程前面主要介绍与薄膜生长相关的比如表面结构、表面输运。重点介绍薄膜沉积热力学和动力学过程，薄膜沉积的各种技术及表征手段。并对目前的热门薄膜材料及薄膜加工工艺进行介绍。课程主要涉及无机功能薄膜。