<薄膜生产工艺技术>外延薄膜中的缺陷
本文档由 精品库 分享于2012-05-10 15:22
点缺陷：空位，间隙原子，替代杂质原子，间隙杂质原子线缺陷：刃型位错，螺型位错，层错面缺陷: 孪晶界，小角晶界，共格晶界……金属，半导体：不同的结构不同的特性表面点缺陷，表面线缺陷
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