氧化锌铝_ZAO_陶瓷靶材制备及其薄膜性能
本文档由 wang5945 分享于2010-01-02 10:53
溶胶2凝胶方法制备的ZnO 和Al2O3 混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结,制备了高致密度(相对密度99 %) 、低成本的ZAO 陶瓷靶材。研究了ZAO 靶材与无氧铜的粘接性能。用中频交流磁控溅射ZAO 靶材的工艺制备了ZAO 薄膜。利用SEM和XRD 分析测试了陶瓷靶材断口形貌以及靶材和薄膜的结构。试验结果表明:制得的ZAO 靶材具有良好的粘接性和溅射性能,内部组织致密,靶材中有明显的ZnAl2O4 相。在优化沉积工艺条件下,..
分享：
君，已阅读到文档的结尾了呢~~